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股票名称
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1
SH688072
拓荆科技-U
PECVD 系列产品、
ALD
系列产品、SACVD 系列产品、HDPCVD 系列产品、Flowable CVD 系列产品和三维集成领域系列产品
2
SH688726
拉普拉斯
硼扩散、磷扩散、氧化及退火设备、低压化学气相沉积(LPCVD)设备、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备、原子层沉积(
ALD
)设备、原子层边缘钝化沉积(EPD)设备、电池间隙贴膜机、激光设备
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