主营产品为LPCVD的上市公司

查询到主营LPCVD的有2家A股上市公司
序号 代码 股票名称 说明
1SH688012中微公司电容性等离子体刻蚀设备、电感性等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备、MOCVD设备、LPCVD设备、ALD设备、VOC设备
2SH688726拉普拉斯低压水平硼扩散设备、低压水平磷扩散设备、低压水平氧化/退火设备、低压水平化学气相沉积镀膜设备(LPCVD)、等离子增强化学气相沉积镀膜设备(PECVD)、扩散/LPCVD/PECVD自动上下料设备、SiC基半导体器件用超高温氧化炉、SiC基半导体器件用超高温退火炉、半导体器件用LPCVD、真空钎焊炉、热场、涂层石英管