主营产品为制程系统的上市公司
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| 序号 | 代码 | 股票名称 | 说明 |
| 1 | SH603163 | 圣晖集成 | 洁净室相关的空气处理系统、气流风路系统、水处理系统、内装系统、减振系统、静电控制系统、电磁干扰控制系统、制程系统、环境检测系统、电力系统、消防安全系统和其他洁净室相关系统 |
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