微导纳米主营产品名称iTomic系列原子层沉积镀膜系统、iTomic MW系列批量式原子层沉积镀膜系统、iTomic Lite系列轻型原子层沉积镀膜系统、iTomic PE系列等离子体增强原子层沉积镀膜系统、iTronix系列化学气相沉积镀膜系统、Trancendor系列晶圆真空传输系统、夸父（KF）系列批量式ALD系统、祝融（ZR)系列管式PEALD/PECVD系统、羲和（XH）系列高温低压系统、祝融（ZR）管式PECVD系统、祝融（ZR）管式PEALD/PECVD集成系统、羲和（XH）高温低压系统、后羿（HY）系列板式ALD系统、iSparol系列卷对卷ALD系统

序号	数据类型	说明
0	主营产品名称	iTomic系列原子层沉积镀膜系统 iTomic MW系列批量式原子层沉积镀膜系统 iTomic Lite系列轻型原子层沉积镀膜系统 iTomic PE系列等离子体增强原子层沉积镀膜系统 iTronix系列化学气相沉积镀膜系统 Trancendor系列晶圆真空传输系统夸父 KF 系列批量式ALD系统祝融 ZR 系列管式PEALD PECVD系统羲和 XH 系列高温低压系统祝融 ZR 管式PECVD系统祝融 ZR 管式PEALD PECVD集成系统羲和 XH 高温低压系统后羿 HY 系列板式ALD系统 iSparol系列卷对卷ALD系统
1	流通股东名称	上海君联晟灏创业投资合伙企业有限合伙无锡毓立创业投资合伙企业有限合伙宁波梅山保税港区问鼎投资有限公司江阴毅达高新创业投资合伙企业有限合伙杨大可香港瑞华投资有限公司深圳市聚隆景润科技有限公司北京君联晟源股权投资合伙企业有限合伙中国建设银行股份有限公司-华夏优势增长混合型证券投资基金江苏中小企业发展基金有限合伙
2	大股东名称	无锡万海盈投资合伙企业有限合伙 LI WEIMIN 无锡聚海盈管理咨询合伙企业有限合伙 LI XIANG 胡彬潘景伟中芯聚源私募基金管理天津合伙企业有限合伙聚源中小企业发展创业投资基金绍兴合伙企业有限合伙无锡德厚盈投资合伙企业有限合伙上海君联晟灏创业投资合伙企业有限合伙无锡毓立创业投资合伙企业有限合伙
3	控股股东	王磊倪亚兰王燕清
4	主营产品	先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售，向下游客户提供先进薄膜设备、配套产品及服务。
5	经营范围	电子产品半导体新能源材料纳米技术镀膜专用设备专用纳米材料的研发设计生产技术咨询技术服务依法须经批准的项目经相关部门批准后方可开展经营活动
7	公司简介	江苏微导纳米科技股份有限公司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。主要产品为iTomic系列原子层沉积镀膜系统、iTomic MW系列批量式原子层沉积镀膜系统、iTomic PE系列等离子体增强原子层沉积镀膜系统、iTronix系列CVD系统、夸父（KF）系列原子层沉积系统、祝融（ZR）系列管式PEALD/PE CVD系统、羲和（XH）系列低压工艺系统、后羿（HY）系列ALD/PEAL D/PECVD薄膜沉积系统、iTomic MW Lite批量轻型系列原子层沉积镀膜系统、卷对卷柔性封装系列原子层沉积镀膜系统。在半导体领域内，公司已与国内多家厂商建立了深度的合作关系，深化推动ALD产业化应用领域和业务迅速发展，相关产品涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、新型显示等诸多细分应用领域，多项设备的工艺质量、产能水平、稳定运行能力等关键指标均已达到了国际先进水平。同时，公司藉由现有的薄膜沉积类产品研发、推广和产业化的经验，开发了多种CVD真空薄膜技术产品。在光伏领域内，公司作为率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产的企业，目前已成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一，与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系。根据公开的市场数据统计，公司ALD产品已连续多年在营收规模、订单总量和市场占有率方面位居国内同类企业第一。公司先后荣获工信部专精特新小巨人企业、苏南国家自主创新示范区独角兽企业、江苏省小巨人企业（制造类）等荣誉称号，并被认定为江苏省原子层沉积技术工程技术研究中心、江苏省原子层沉积技术工程研究中心、江苏省省级企业技术中心、江苏省外国专家工作室、江苏省博士后创新实践基地、江苏省研究生工作站、江苏省省级企业技术中心。

微导纳米主营产品名称 SH688147主营产品名称iTomic系列原子层沉积镀膜系统、iTomic MW系列批量式原子层沉积镀膜系统、iTomic Lite系列轻型原子层沉积镀膜系统、iTomic PE系列等离子体增强原子层沉积镀膜系统、iTronix系列化学气相沉积镀膜系统、Trancendor系列晶圆真空传输系统、夸父（KF）系列批量式ALD系统、祝融（ZR)系列管式PEALD/PECVD系统、羲和（XH）系列高温低压系统、祝融（ZR）管式PECVD系统、祝融（ZR）管式PEALD/PECVD集成系统、羲和（XH）高温低压系统、后羿（HY）系列板式ALD系统、iSparol系列卷对卷ALD系统