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序号 代码 股票名称 说明
1SH688147微导纳米iTomic系列原子层沉积镀膜系统、iTomic MW系列批量式原子层沉积镀膜系统、iTomic Lite系列轻型原子层沉积镀膜系统、iTomic PE系列等离子体增强原子层沉积镀膜系统、iTronix系列化学气相沉积镀膜系统、Trancendor系列晶圆真空传输系统、夸父(KF)系列批量式ALD系统、祝融(ZR)系列管式PEALD/PECVD系统、羲和(XH)系列高温低压系统、祝融(ZR)管式PECVD系统、祝融(ZR)管式PEALD/PECVD集成系统、羲和(XH)高温低压系统、后羿(HY)系列板式ALD系统、iSparol系列 卷对卷ALD系统
2SH688660电气风电2.X系列陆上风电机组、4.X陆上风电机组、5.X陆上风电机组、6.25MW系列陆上风电机组、7.15 MW系列陆上风电机组、4.X系列海上风电机组、7.X系列海上风电机组、8.5MW海上风电机组、11MW系列海上风电机组、16MW系列海上风电机组