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序号
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代码
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股票名称
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说明
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| 1 | SH603396 | 金辰股份 | 高效光伏组件自动化生产线、层压机、自动粘胶带机、接线盒焊接机、多功能汇流条焊接机、组件EL外观检查一体机、电池串自动敷设机、自动打胶组框组角一体机、激光划片机、玻璃上料机械手、EVA/TPT自动裁切机、叠瓦机、自动灌胶机、EVA刮平机、自动削边机、自动装纸护角机、自动包装线、HJT高效光伏电池PECVD非晶硅薄膜设备、PVD、TOPCON高效光伏电池管式PECVD、硼扩散设备、光伏电池电注入机、光伏电池PL、膜色分选一体机、电池片上下料机 |
| 2 | SH688072 | 拓荆科技-U | PECVD、UVCure、PE-ALD、Thermal-ALD、SACVD、HDPCVD、晶圆对晶圆键合产品、芯片对晶圆键合表面预处理产品 |
| 3 | SH688082 | 盛美上海 | 清洗设备、半导体电镀设备、立式炉管系列设备、涂胶显影Track设备、等离子体增强化学气相沉积PECVD设备、无应力抛光设备、后道先进封装工艺设备、硅材料衬底制造工艺设备 |
| 4 | SH688147 | 微导纳米 | iTomic系列原子层沉积镀膜系统、iTomic MW系列批量式原子层沉积镀膜系统、iTomic Lite系列轻型原子层沉积镀膜系统、iTomic PE系列等离子体增强原子层沉积镀膜系统、iTronix系列化学气相沉积镀膜系统、Trancendor系列晶圆真空传输系统、夸父（KF）系列批量式ALD系统、祝融（ZR)系列管式PEALD/PECVD系统、羲和（XH）系列高温低压系统、祝融（ZR）管式PECVD系统、祝融（ZR）管式PEALD/PECVD集成系统、羲和（XH）高温低压系统、后羿（HY）系列板式ALD系统、iSparol系列 卷对卷ALD系统 |
| 5 | SH688726 | 拉普拉斯 | 低压水平硼扩散设备、低压水平磷扩散设备、低压水平氧化/退火设备、低压水平化学气相沉积镀膜设备（LPCVD）、等离子增强化学气相沉积镀膜设备（PECVD）、扩散/LPCVD/PECVD自动上下料设备、SiC基半导体器件用超高温氧化炉、SiC基半导体器件用超高温退火炉、半导体器件用LPCVD、真空钎焊炉、热场、涂层石英管 |
| 6 | SZ300450 | 先导智能 | 全自动卷绕机、隔膜分切机、极片分切机、焊接卷绕一体机、18650/21700卷绕机、叠片机、涂布机、组装线、EV真空干燥炉、EV注液机、激光摸切机、智能物流线、化成柜及分容柜系统、锂电池设备整线解决方案、自动化制绒/刻蚀清洗上/下料机、自动化扩散上/下料机、自动化管式PECVD上/下料机、电池片自动串焊机、组件自动流水线、光伏电池整线解决方案、消费类电子总装、OLED显示屏检测、3D玻璃检测、柔性线路板检测以及其他高精度组装行业提供3D视觉测量、智能检测、精密组装等设备、整线自动化集成解决方案、自动卷绕机、高速分切机、喷金机、老化机 |