| 序号 | 代码 | 股票名称 | 说明 |
| 1 | SH688012 | 中微公司 | 电容性等离子体刻蚀设备、电感性等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备、MOCVD设备、LPCVD设备、ALD设备、VOC设备 |
| 2 | SH688072 | 拓荆科技-U | PECVD、UVCure、PE-ALD、Thermal-ALD、SACVD、HDPCVD、晶圆对晶圆键合产品、芯片对晶圆键合表面预处理产品 |
| 3 | SH688147 | 微导纳米 | iTomic系列原子层沉积镀膜系统、iTomic MW系列批量式原子层沉积镀膜系统、iTomic Lite系列轻型原子层沉积镀膜系统、iTomic PE系列等离子体增强原子层沉积镀膜系统、iTronix系列化学气相沉积镀膜系统、Trancendor系列晶圆真空传输系统、夸父（KF）系列批量式ALD系统、祝融（ZR)系列管式PEALD/PECVD系统、羲和（XH）系列高温低压系统、祝融（ZR）管式PECVD系统、祝融（ZR）管式PEALD/PECVD集成系统、羲和（XH）高温低压系统、后羿（HY）系列板式ALD系统、iSparol系列 卷对卷ALD系统 |